Κύρια Δομή Εξοπλισμού Etch

 

Η δομή του mainstream εξοπλισμού χάραξης μπορεί να χωριστεί σε δύο μέρη: το κύριο σώμα και τον βοηθητικό εξοπλισμό. Μεταξύ αυτών, το κύριο σώμα του εξοπλισμού χάραξης περιλαμβάνει EFEM (μπροστινό άκρο εξοπλισμού), TM (μονάδα μετάδοσης), PM (μονάδα διαδικασίας) και τρεις μονάδες. Η μονάδα EFEM είναι κυρίως υπεύθυνη για τη φόρτωση πλακών από διάφορους εξοπλισμούς χειρισμού (συμπεριλαμβανομένων φορτωτών γκοφρετών, ρομπότ χειρισμού και γερανών) στο εργοστάσιο ημιαγωγών σε εξοπλισμό χάραξης. Η μονάδα TM είναι κυρίως υπεύθυνη για τη μεταφορά γκοφρετών μέσα στον εξοπλισμό χάραξης. Το PM είναι το δομοστοιχείο που χάραξε πραγματικά τη γκοφρέτα και συμβαίνουν οι σχετικές φυσικοχημικές αντιδράσεις. Η λειτουργία του βοηθητικού εξοπλισμού είναι να παρέχει εγγυητική υποστήριξη για τις παραπάνω τρεις μονάδες και η διάταξη είναι σχετικά ανεξάρτητη από το κύριο σώμα της μηχανής.

Με την αύξηση της ζήτησης για την παραγωγική ικανότητα ενός μόνο εξοπλισμού χάραξης στην κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, ο αριθμός των κοιλοτήτων αντίδρασης μιας μεμονωμένης μηχανής χάραξης δείχνει μια τάση από λιγότερα σε περισσότερα. Στη δεκαετία του 1990, το Tokyo Electron κυκλοφόρησε για πρώτη φορά τη σειρά Unity με πολλαπλούς αντιδραστήρες σε μια ενιαία πλατφόρμα, το Telius, το πρώτο μηχάνημα στον κόσμο με δομή παράλληλου θαλάμου και το Tactras με κοιλότητες 6/8 τη δεκαετία του 2010. Η πιο πρόσφατη σειρά επεισοδίων της Tokyo Electron μπορεί να εξοπλιστεί με έως και 12 κοιλότητες, γεγονός που βελτιώνει σημαντικά την απόδοση χώρου του εξοπλισμού χάραξης και αφήνει περισσότερο χώρο στα fabs να επεκτείνουν την παραγωγή.

Ο εξοπλισμός χάραξης με πολλαπλούς αντιδραστήρες χάραξης είναι απαραίτητος για τα εργοστάσια για την αύξηση της παραγωγικής ικανότητας. Επειδή όσο μεγαλύτερος είναι ο αριθμός των θαλάμων σε ένα μόνο μηχάνημα, τόσο μικρότερος είναι ο χώρος κατά μέσο όρο για έναν μόνο θάλαμο. Η συντήρηση της μονάδας καθαρισμού fab απαιτεί μεγάλο κόστος, μειώνοντας τον χώρο που καταλαμβάνει ένας μόνο εξοπλισμός, αυξάνοντας αποτελεσματικά την ικανότητα παραγωγής γκοφρέτας της μονάδας καθαρισμού ανά μονάδα επιφάνειας και μειώνοντας το κόστος απόσβεσης και συντήρησης του εργοστασίου που κατανέμεται σε ένα μόνο όστια. Ο ρυθμός αντίδρασης είναι πιο αργός και η έξοδος γκοφρέτας ανά μονάδα χρόνου είναι χαμηλότερη από αυτή του πλακιδίου (γκοφρέλα ανά ώρα) (εξοπλισμός διηλεκτρικής χάραξης), που είναι πιο διατεθειμένος να υιοθετήσει τη δομή εξαιρετικά πολλαπλών κοιλοτήτων. Ωστόσο, η αύξηση του αριθμού των θαλάμων PM δημιουργεί νέες απαιτήσεις στη διαδικασία φόρτωσης και μεταφοράς της μονάδας πρόσοψης EFEM και της μονάδας μεταφοράς TM.