Αραίωμα και Κοπή Τσιπ

%7β%7β0%7δ%7δ DGDP

0040-79912 Θύρα ελέγχου διαρροής θαλάμου επένδυσης, 300 mm Emax

Αραίωση καιCεξόρμηση τουCγοφούς

Αραίωση τσιπ και κοπή σε κύβους Στη σύγχρονη κατασκευή ημιαγωγών, το μέγεθος των πλακών πυριτίου συνεχίζει να αυξάνεται, από 6 ίντσες σε 18 ίντσες. Το μέγεθος της γκοφρέτας πυριτίου περιορίζεται από το πάχος της, επομένως το μέγεθός της αυξάνεται και το πάχος πρέπει να αυξηθεί ανάλογα για να εξασφαλιστεί η μηχανική αντοχή, η οποία φέρνει επίσης προκλήσεις στην επακόλουθη επεξεργασία τσιπ, η πιο σημαντική από τις οποίες είναι η κοπή τσιπ και συσκευασία.

Αυτό το άρθρο εισάγει κυρίως την αραίωση και την κοπή γκοφρετών πυριτίου, τα οποία περιγράφονται ως εξής:

Μικροποίηση chip

Κοπή τσιπ

1 Μικροποίηση chip

Για παράδειγμα, για μια συσκευασία TSOP, το πραγματικό πάχος του στρώματος κυκλώματος είναι μόνο 300 μm, αλλά το συνολικό πάχος της πραγματικής πλακέτας πυριτίου συνήθως χρειάζεται να είναι 900 μm. Επομένως, αφού ολοκληρωθεί η σχετική διαδικασία του στρώματος κυκλώματος, η πίσω πλευρά της επεξεργασμένης γκοφρέτας πυριτίου θα αραιωθεί και στη συνέχεια θα κοπεί για να σχηματιστεί μια αραιωμένη γυμνή μήτρα.

Υπάρχουν διάφορες τεχνολογίες για την αραίωση της πίσω πλευράς των γκοφρετών πυριτίου, οι οποίες περιλαμβάνουν κυρίως:

Άλεσμα και λείανση:

Αυτή η μέθοδος είναι μια φυσική διαδικασία, αλλά μπορεί να οδηγήσει σε ανεπαίσθητη βλάβη στην επιφάνεια του πλακιδίου πυριτίου και να μειώσει τη μηχανική αντοχή. Το όργανο που χρησιμοποιείται σε αυτή τη μέθοδο είναι ένας τροχός λείανσης, ο οποίος αραιώνεται με ένα μέσο όπως λειαντική πάστα και νερό.

 

Ξηρό γυάλισμα:

Αυτή η μέθοδος είναι διαφορετική από τη λείανση και τη λείανση που περιγράφηκε παραπάνω και δεν χρειάζεται να συνδυαστεί με περίσσεια μέσων και χρησιμοποιεί μόνο συγκεκριμένα όργανα για γυάλισμα για την απομάκρυνση των τάσεων και των ανομοιομορφιών.

CMP%3α

Σε συνδυασμό με τη χημική διάβρωση και τη φυσική λείανση, μπορεί να πραγματοποιηθεί η αραίωση και η στίλβωση των πλακών πυριτίου.

Άλλες τεχνολογίες χρησιμοποιούν χημικές ή ηλεκτροχημικές μεθόδους σε συνδυασμό με φυσικά μέσα για τη μείωση των πλακών πυριτίου, όπως η χημική διάβρωση ενισχυμένη με πλάσμα. Προκειμένου να βελτιωθεί η αντοχή σε κάμψη της αραιωμένης γκοφρέτας, συνήθως χρησιμοποιούνται μέθοδοι όπως η ξηρή στίλβωση ή η διάβρωση πλάσματος για την απομάκρυνση της τάσης.

2 Κοπή τσιπ

Η γκοφρέτα πυριτίου μετά την αραίωση τσιπ πρέπει να κοπεί και η μέθοδος κοπής χωρίζεται κυρίως σε δύο κατηγορίες: κοπή λεπίδας και κοπή με λέιζερ.

Κοπή λεπίδας:

Αυτή η μέθοδος είναι η πιο παραδοσιακή μέθοδος κοπής, όπως υποδηλώνει το όνομα, το εργαλείο κοπής που χρησιμοποιείται είναι η λεπίδα, αλλά η σκληρότητα της συνηθισμένης λεπίδας δεν είναι αρκετή και χρησιμοποιείται γενικά η λεπίδα του τροχού λείανσης με διαμάντια.

Ωστόσο, μπορεί να προκληθεί θρυμματισμός κοντά στη θέση κοπής λόγω πίεσης, η οποία μπορεί να μειωθεί σημαντικά με τη χρήση λεπτών λειαντικών ενθεμάτων.

Κοπή λέιζερ:

Η ενέργεια που παράγεται από την εστίαση με λέιζερ χρησιμοποιείται για την κοπή και το παρακάτω σχήμα είναι ένα σχηματικό διάγραμμα της διαδικασίας κοπής με αυλάκωση με λέιζερ